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一种用于大型光学仪器的自动检焦装置 被引量：1
1
作者 李宇航 谷凤安 李朝鹏 《物理实验》 北大核心 2004年第2期23-25,共3页
介绍了一种小型化的自动检焦装置 ,该装置用 2块小口径五棱镜对径放置在镜筒前 ,用半导体激光器做光源 ,用CCD作为光电转换器件 ,通过测量两光斑在CCD上的移动量 ,从而计算出离焦量 .采用相关法处理数据 ,实现了亚像素测量精度 .实验结... 介绍了一种小型化的自动检焦装置 ,该装置用 2块小口径五棱镜对径放置在镜筒前 ,用半导体激光器做光源 ,用CCD作为光电转换器件 ,通过测量两光斑在CCD上的移动量 ,从而计算出离焦量 .采用相关法处理数据 ,实现了亚像素测量精度 .实验结果表明检焦分辨率力≤ 10 μm . 展开更多
关键词 大口径光学仪器 自动检焦装置 光电转换器件 五棱镜 CCD 离焦量 检焦分辨率 误差分析
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