用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构

在激光直接写入设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺服.采用压电陶瓷作为驱动元件、3个柔性铰链组合结构作为导向及执行元件,研制出了一种用于激光直接写入设备的调焦伺服机构.该调焦伺服机构的分辨力为10 nm,行程为10 μm,导向精度为1.37”.是适合纳米定位的理想调焦伺服机构.

串联式大行程高分辨率传动系统

为了提高大行程传动系统的分辨率,将高精度滚珠丝杠与压电陶瓷驱动铰链结构串联在一起构成串联式传动系统,用高精度滚珠丝杠来完成大行程位移,用压电陶瓷驱动铰链完成微小位移。这种串联式传动系统最终得到了0.29μm/100mm的定位精度,0.03μm的位移灵敏度。