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偏流对金刚石膜生长的影响
被引量:
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作者
支文
赵利军
+1 位作者
毕冬梅
朱莉
《长春理工大学学报(自然科学版)》
2007年第3期108-109,113,共3页
采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA-CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,偏流对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman、SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
关键词
金刚石膜
偏流
膜的质量
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职称材料
题名
偏流对金刚石膜生长的影响
被引量:
1
1
作者
支文
赵利军
毕冬梅
朱莉
机构
长春大学理学院特殊教育学院
出处
《长春理工大学学报(自然科学版)》
2007年第3期108-109,113,共3页
基金
吉林省科技厅资助项目
低成本高能量密度锂离子电池正极材料的研制
合同编号:10647104吉教科合字[2005]第85号
文摘
采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA-CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,偏流对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman、SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
关键词
金刚石膜
偏流
膜的质量
Keywords
diamond film
bias current
quality of diamond films
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
偏流对金刚石膜生长的影响
支文
赵利军
毕冬梅
朱莉
《长春理工大学学报(自然科学版)》
2007
1
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