PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文）

研究通过等离子增强原子层沉积（PEALD）在不同沉积温度下生长的A1N温度对其特性的影响。前驱体是NH3和TMA，在300oC、350oC和370oC沉积温度下分别沉积了200、500、800、1000、1500周期的A1N层，并讨论了A1N薄膜的生长速率、结晶化和表面粗糙度。结果表明，在300—370℃范围内，随着温度的上升薄膜的沉积速率和结晶化增加，而薄膜表面粗糙度减小。

多局域空心光阱及其光场调控

本文通过一种产生多局域空心光阱的光学系统,研究了光阱位置与反射镜偏转角度的关系。基于衍射积分和矩阵光学的理论,分析并计算了入射光源经过光学元件后的光场分布,通过调控反射镜的偏转角度,可以实现光阱位置的任意变换,达到精确捕获和囚禁微粒的目的。当两个反射镜偏转角度的关系为θ1-θ2=90°时,变换的光阱位置在一条倾斜的直线上;当两个反射镜的偏转角度关系为θ1<112.5°和θ2<22.5°时,空心四阱可转变为空心十二阱。对所形成的光阱进行了梯度力和散射力的计算,通过蒙特卡罗法验证了瑞利粒子被稳定地囚禁在光阱中心的极小区域内。多局域空心光阱对于多粒子的捕获和精确捕捉具有重要意义。