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硒化锌晶体加工工艺研究 被引量:15
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作者 张玉兰 卢利平 +5 位作者 臧春和 李永亮 王英伟 李长江 朱忠丽 孙晶 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期612-615,共4页
根据硒化锌(ZnSe)晶体材料的性能特点,在大量试验的基础上,探索出了一套实用的、行之有效的ZnSe晶体的整盘等厚加工工艺。加工中采用双氧水溶剂浸泡Al2O3抛光剂,软化了Al2O3磨料。结果表明:该工艺技术有效地提高了ZnSe晶体零件的表面光... 根据硒化锌(ZnSe)晶体材料的性能特点,在大量试验的基础上,探索出了一套实用的、行之有效的ZnSe晶体的整盘等厚加工工艺。加工中采用双氧水溶剂浸泡Al2O3抛光剂,软化了Al2O3磨料。结果表明:该工艺技术有效地提高了ZnSe晶体零件的表面光洁度,保证了同心度,对于实际生产有一定的推广应用价值。 展开更多
关键词 硒化锌晶体 表面光洁度 晶体加工
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