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基于聚二甲基硅氧烷微米结构的柔性单电极摩擦纳米发电机 被引量:6
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作者 张满 山程 +3 位作者 夏良平 党随虎 曾梦婷 杜春雷 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第1期44-49,共6页
摩擦纳米发电机已经广泛用于日常生活中收集各种机械能并转换为电能,作为触摸屏和智能皮肤技术的自供能传感系统。为了提高能量转换效率,设计了一种单电极的摩擦纳米发电机(S-TENG)。将表面含有微米尺度浮雕结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)... 摩擦纳米发电机已经广泛用于日常生活中收集各种机械能并转换为电能,作为触摸屏和智能皮肤技术的自供能传感系统。为了提高能量转换效率,设计了一种单电极的摩擦纳米发电机(S-TENG)。将表面含有微米尺度浮雕结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为S-TENG的摩擦层,一层厚度为20 nm的铟锡氧化物膜作为电极层,通过外部电路可以输出电能。微米尺度浮雕结构增强了摩擦层的电学性能。在室温下使用示波器通过施加不同的外部压力检测了S-TENG的开路电压和短路电流。测试结果表明,制备的S-TENG的开路电压达到了80 V,短路电流达到了1μA。 展开更多
关键词 摩擦纳米发电机(TENG) 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 微米结构 浮雕结构 传感系统
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