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离子注入机的EMC技术研究 被引量:6
1
作者 陈毅功 《微细加工技术》 1990年第1期12-22,共11页
本文在理论联系实际的基础上就离子注入机的电磁兼容性(EMC)问题进行了初步的研究。分析了离子注入机中的噪声干扰状况;提出了离子注入机中几个实际的噪声干扰模型;比较系统地介绍了离子注入机中常用的EMC技术及其实施措施。
关键词 离子注入机 EMC 电磁兼容性
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He离子注入非晶Fe_(40)Ni_(38)Mo_4B_(18)合金的CEMS研究
2
作者 唐景庭 《微细加工技术》 1991年第1期20-25,共6页
对非晶态合金Fe_(40)Ni_(38)Mo_4B_(18)在室温下注入了120keV 2.0×10^(18)、2.5×10^(18)、3.0×10^(18)/cm^2三种剂量的~4He^+离子,借助内转换电子穆斯堡尔谱(CEMS)分析方法研究了注入非晶态合金的微观结构变化。结果表明... 对非晶态合金Fe_(40)Ni_(38)Mo_4B_(18)在室温下注入了120keV 2.0×10^(18)、2.5×10^(18)、3.0×10^(18)/cm^2三种剂量的~4He^+离子,借助内转换电子穆斯堡尔谱(CEMS)分析方法研究了注入非晶态合金的微观结构变化。结果表明:在注入近表面层,样品密度随剂量而增加;表面受到横向张应力的作用。分析认为,这是由于在注入层产生了He与类空位的复合体气泡结构所致。 展开更多
关键词 非晶态合金 FeNiMoB 离子注入
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三维网络填料增强聚合物基复合材料导热性能的研究进展
3
作者 周正荣 颜秀文 +3 位作者 何峰 徐冬 黄荣进 李来风 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期3301-3321,共21页
聚合物在超导技术、航天航空、电子电路、动力电池、换热器等领域的应用十分广泛。随着器件的小型化、密集化和高功率,对于整体的散热要求越来越高,但是聚合物作为器件和设备粘接、封装等工艺的关键材料,热导率仅为0.2 W/(m·K),完... 聚合物在超导技术、航天航空、电子电路、动力电池、换热器等领域的应用十分广泛。随着器件的小型化、密集化和高功率,对于整体的散热要求越来越高,但是聚合物作为器件和设备粘接、封装等工艺的关键材料,热导率仅为0.2 W/(m·K),完全不能满足目前的散热需求,因此亟需提升聚合物的导热性能。由于在聚合物基体中构建连续的导热路径能极大提高聚合物的导热系数,往往能提高数倍或数十倍,因此采用三维网络填料增强聚合物导热性能是最为常用的一种方法之一。本文主要对用构建三维网络填料来增强高分子材料的导热性能的相关研究进行了整理,以制备方式的不同,将其归类为自组装法、相分离法、模板法、取向分布法等方法。最后,从制备方法的热导率提高值、可行性、稳定性等方面进行了总结分析,并对三维网络填料增强的聚合物基导热复合材料的未来发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 导热系数 复合材料 聚合物 三维网络增强 无机填料
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孔雀绿在分析化学中应用的新近发展 被引量:1
4
作者 王修林 《冶金分析》 CAS CSCD 北大核心 1990年第4期32-36,共5页
本文叙述了孔雀绿及其与金属络阴离子生成的缔合物的分析性质,并简述了80年代以来,孔雀绿在国内分析化学中的应用。
关键词 孔雀绿 分析化学 应用 缔合物
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新型200keV离子注入机 被引量:2
5
作者 徐道林 《仪器仪表学报》 EI CAS 1984年第1期107-111,共5页
一、前言新型中能离子注入机(LC—2A 型)的离子光学系统属先分析后加速方式,如图1所示。分析器处于高电位[1],在较低的能量上进行质量分析,再把分析出的离子束加速到最终能量。这样,既缩小了分析器的尺寸和减轻了它的重量,又降低了X 射... 一、前言新型中能离子注入机(LC—2A 型)的离子光学系统属先分析后加速方式,如图1所示。分析器处于高电位[1],在较低的能量上进行质量分析,再把分析出的离子束加速到最终能量。这样,既缩小了分析器的尺寸和减轻了它的重量,又降低了X 射线的辐射。 展开更多
关键词 离子光学系统 离子束 发散度 粒子束 离子注入机 粒子源 离子源 积分仪 离子流 电荷效应 离子引出 总束流
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二甲基乙二肟在分析化学中的应用进展 被引量:1
6
作者 王修林 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第1期51-54,57,共5页
本文叙述了二甲基乙二肟及其金属配合物的主要性质,着重介绍80年代以来该试剂在国内分析化学实际应用中的新近发展,并展望了分析应用前景。
关键词 二甲基乙二肟 测定
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偶氮类试剂与吸附催化波分析 被引量:1
7
作者 王修林 《岩矿测试》 CAS 1988年第3期241-245,I0014,共6页
文章收集了近年来50多篇文献,评述了偶氮类试剂与金属离子生成的配合物在滴汞电极上的极谱行为及分析中的应用情况。展望了分析应用的前景。
关键词 滴汞电极 偶氮类试剂 金属离子 吸附催化波 配合物 极谱行为 评述
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邻-硝基苯基荧光酮在光度分析中的应用 被引量:2
8
作者 王修林 《湖南有色金属》 CAS 北大核心 1989年第5期49-54,共6页
本文介绍了邻-硝基苯基荧光酮与金属离子的络合反应性质,并着重综述了该试剂在光度分析中的应用。
关键词 邻-硝基苯基荧光酮 光度分析 应用
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铬黑T在分析化学应用中的新进展 被引量:1
9
作者 王修林 《有色矿冶》 北大核心 1990年第6期57-60,5,共5页
本文介绍了铬黑T及其金属络合物的主要性质,综述了该试剂在分析化学应用中的新近发展。
关键词 铬黑T 分析化学 金属指示剂
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1,10-二氮菲在分析化学中的实际应用
10
作者 王修林 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 1992年第1期61-65,共5页
介绍了1,10-二氮菲(phen)及其金属络合物的分析化学性质,评述了我国80年代以来,该试剂在分析化学中的实际应用和发展前景。
关键词 1 10-二氮菲 分析化学 试剂
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4,5-二溴苯基荧光酮在光度分析中的应用
11
作者 王修林 《理化检验(化学分册)》 CAS CSCD 北大核心 1989年第3期27-28,共2页
4,5-二溴苯基荧光酮,最早于1978年由合成,国内也进行了一系列的研究工作,该试剂在胶束增溶光度分析中,灵敏度非常高、选择性也很好。现将该试剂及其金属螯合物的分析性质和在国内的实际应用归纳予以介绍。
关键词 光度分析 荧光酮 二溴苯基
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三苯甲烷染料及其在吸附催化波分析中的应用
12
作者 王修林 《云南冶金(科学技术版)》 1990年第4期65-69,共5页
本文主要概述国内近些年来,三苯甲烷类试剂在吸附催化波分析中的研究和应用。
关键词 三苯甲烷 极谱分析 吸附 催化波
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电子回旋共振微波等离子化学气相沉积金刚石薄膜
13
作者 孙亦宁 恽辉中 +3 位作者 杨基南 廖佐升 吴京波 魏庆升 《真空与低温》 1992年第4期192-195,共4页
采用国内研制的电子回旋共振化学气相沉积设备(ECRCVD),在单晶硅片上沉积出了金刚石薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM),X 射线衍射仪(XRD),激光拉曼谱仪(RAM)的测试,证明所沉积的薄膜具有明确的金刚石特征。所采用的 ECRCVD 设备,具有可以... 采用国内研制的电子回旋共振化学气相沉积设备(ECRCVD),在单晶硅片上沉积出了金刚石薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM),X 射线衍射仪(XRD),激光拉曼谱仪(RAM)的测试,证明所沉积的薄膜具有明确的金刚石特征。所采用的 ECRCVD 设备,具有可以低压沉积、大面积均匀生长以及低温生长的优点。这种方法在合成金刚石光学膜,半导体膜以及其它薄膜方面有重要的应用前景。 展开更多
关键词 金刚石 薄膜 等离子体 气相沉积
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TK—95型特种扩散泵研制报告
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作者 TK-95型特种扩散泵课题组 《微细加工技术》 1989年第1期30-33,共4页
一、引言TK—95型特种扩散泵(外观见封二)是在日本大亚(DAIA)公司DPF—3Z型油扩散泵的基础上,我们将其材质和结构上加以改进后于88年推出的新产品,是显象管生产线排气小车上不可缺少的专用高真空油扩散泵,属于消化吸收提高型新产品。该... 一、引言TK—95型特种扩散泵(外观见封二)是在日本大亚(DAIA)公司DPF—3Z型油扩散泵的基础上,我们将其材质和结构上加以改进后于88年推出的新产品,是显象管生产线排气小车上不可缺少的专用高真空油扩散泵,属于消化吸收提高型新产品。该泵的研制工作于87年12月份开始。在试制过程中,长沙曙光电子管厂提供了一台大亚公司的原装DPF—3Z型泵和相应的产品说明书,并对第一台试制泵进行了试用,提出了若干改进意见。 展开更多
关键词 扩散泵 油扩散泵 DPF-3Z型
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一种新型智能积分仪——剂量处理器
15
作者 周琪 《微细加工技术》 1990年第4期37-43,共7页
随着大规模集成电路的发展,离子注入机已成为半导体工业中必不可少的设备,其自动化程度的要求越来越高。采用计算机控制必然会带来新的生命力,它可提高注入机的自动化水平,减少人为因素,提高工艺重复性,以及改善操作人员的劳动条件等。... 随着大规模集成电路的发展,离子注入机已成为半导体工业中必不可少的设备,其自动化程度的要求越来越高。采用计算机控制必然会带来新的生命力,它可提高注入机的自动化水平,减少人为因素,提高工艺重复性,以及改善操作人员的劳动条件等。人们希望对注入机重复性起着重要作用的部件——积分仪不仅能测量范围宽、精度高。 展开更多
关键词 智能积分仪 剂量处理器 离子注入机
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多室连续式PECVD装置
16
作者 等离子体淀积课题组 《微细加工技术》 1989年第2期33-35,共3页
多室连续式PECVD装置可实现多层薄膜的连续淀积,是制备PIN结构非晶硅太阳能叠层电池的重要设备。本文介绍我们研制的PECVD—L425型连续淀积设备的结构特点和调试结果。
关键词 PECVD 连续式 设备
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磁约束微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜
17
作者 孙亦宁 恽辉中 +3 位作者 杨基南 廖佐升 吴京波 魏庆生 《微细加工技术》 1992年第2期57-61,共5页
采用国内研制的电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)设备,在单晶硅衬底上沉积了金刚石薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和激光拉曼谱仪(RAM)的测试,证明所沉积的薄膜具有明确的金刚石特征。所采用的ECRCVD设备,具有低压... 采用国内研制的电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)设备,在单晶硅衬底上沉积了金刚石薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和激光拉曼谱仪(RAM)的测试,证明所沉积的薄膜具有明确的金刚石特征。所采用的ECRCVD设备,具有低压沉积、大面积均匀和低温生长的优点。这种方法在合成金刚石光学膜、半导体膜以及其它薄膜方面,很有发展潜力。 展开更多
关键词 金刚石 薄膜 化学气相沉积
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非晶态合金及其离子注入效应
18
作者 唐景庭 《微细加工技术》 1990年第4期48-60,共13页
非晶态合金是一种新型的具有独持优异性能的无机材料,其工业应用潜力是无与伦比的。非晶态合金的离子注入效应则是近十多年内发展起来的用离子束技术研究非晶态合金问题的新领域,它主要研究离子注入引起的非晶态合金的结构变化和有关现... 非晶态合金是一种新型的具有独持优异性能的无机材料,其工业应用潜力是无与伦比的。非晶态合金的离子注入效应则是近十多年内发展起来的用离子束技术研究非晶态合金问题的新领域,它主要研究离子注入引起的非晶态合金的结构变化和有关现象,并用以测定非晶态合金的抗辐照损伤能力,为探索高抗辐照损伤能力的材料提供依据。 本文在简述非晶态合金主要优良性能之后,介绍非晶态合金离子注入效应研究的基本内容和取得的结果。包括:注入非晶态合金的结构状态;非晶态合金中注入He的研究及由此引起的注入条件(能量、剂量、束流密度)、合金成分、注入前样品的不同预处理等对注入效应的影响。 展开更多
关键词 非晶态合金 离子注入效应
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溴邻苯三酚红在分析化学中的应用
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作者 王修林 《湖南冶金》 1990年第2期45-49,共5页
溴邻苯三酚红(BrompyrogallolRed),别名3,3-二溴磺棓因,结构式: 分子量558.16,分子式C_(10)H_(10)Br_2O_8S,缩写为 BPR 或。该试剂在光度分析和催化极谱分析中已获得了广泛的应用。
关键词 分析化学 溴邻苯三酚红 应用
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