等离子体化学气相沉积TiN涂层的后热处理技术研究

为了提高等离子体化学气相沉积 (PCVD)涂层的质量 ,改善基体材料的机械性能 ,更好地发挥PCVD硬质涂层的使用效果 ,采用了先沉积后热处理的新工艺。结果表明 ,热处理温度对PCVD TiN涂层的化学成分、显微结构和性能有较大的影响。随着处理温度的提高 ,涂层的结晶度得到大幅度的改善 ,涂层内的杂质氯含量降低 ,涂层的 (2 0 0 )晶面距减小 ,但在 90 0℃时 ,PCVD

铝材表面的等离子微弧氧化技术研究

以工业级硅酸钠为电解液，铝材在交流电压作用下进行等离子微弧氧化反应，电压升高，膜厚增大。用Ｘ－ 射线衍射分析法和扫描电镜法检测，氧化膜为非晶态氧化铝陶瓷膜。硬度试验和腐蚀试验表明：该膜硬度高、耐强碱腐蚀性强。

辅助外加热方式直流等离子体化学气相沉积TiN的研究

1 引 言 单纯靠离子轰击加热的直流等离子体化学沉积 TiN在刀具、刃具及各种耐磨工件上的应用已取得良 好的结果,就其工艺而言,由于影响离子轰击的因素 很多造成工艺参数控制复杂,重复性差,温度不均匀等缺点。90年代起本所开始采用了辅助外加热方式沉积技术,改变了单纯依靠离子轰击加热而带来了弊端。将反应时等离子体放电强度与放电工件温度分离,从而提高了工艺的稳定性。

射频等离子体化学气相沉积择优取向膜的研究

用Ｘ－衍射的方法分析影响射频等离子体沉积择优取向的ＴＩＮ膜，取向的原因。

等离子弧金属表面熔覆处理的研究

在钢的表面上用Ni基合金粉末进行等离子弧熔覆处理。试验结果表明 ,用优化后的等离子弧熔覆工艺可以在钢的表面获得致密、结合牢固和零稀释率的熔覆层。因此等离子弧熔覆处理是一种有发展前途。

等离子体金属有机物化学气相沉积碳氮化钛

叙述了采用金属有机物钛酸四乙脂取代四氯化钛,运用PCVD外加热法沉积Ti(CN)涂层,其显微硬度可达1600kg/mm^2,涂层结构仍为柱状晶.

等离子体化学气相沉积反应中对温度因素的控制

采用了外加热式直流等离子体化学气相沉积及渗金属工艺并在放电工件上直接测温的方法，克服了高于轰击加热引起的温度不均匀等因素并且膜的结构及力学性能得以改善。

辅助外加热直流等离子体中放电参数的影响

由于采用辅助外加热式离子轰击，减少了放电对放电工件形状、位置的影响，与单纯靠离子轰击放电加热时的放电电流及电压加以比较得出其优点所在。

热等离子弧对钢表面淬硬深度的影响

有 3种连接方式可以用于等离子弧钢的表面淬火工艺 :转移弧、非转移弧和联合弧。本文对比了这 3种连接方式的等离子弧对钢表面淬硬深度的影响。试验结果表明 ,转移弧和联合弧的加热效率比较高 ,可以获得比非转移弧更深的淬硬深度 ,但小口径的非转移弧或联合弧的电弧燃烧稳定 ,比较适合用于等离子弧淬火处理。

喷射干冰表面清理技术的原理及应用

喷射干冰表面清理技术,是一种革命性的表面除污新技术,与传统表面清理技术相比,该技术在各方面都具有一定优势,因而被认为是新世纪最有发展前途的表面清理技术。

微过滤及超过滤技术在化学镀镍工艺中的应用研究

实验表明在以工业级药品为原料的化学镀镍工艺中应用微过滤或超过滤技术 ,可显著地改善镀层的耐蚀性 ,其效果可与以试剂级药品为原料的化学镀镍层媲美。

等离子化学气相沉积氮化钛在高速钢精密轴承上的应用

报道了等离子化学气相沉积氮化钛工艺在高速钢精密轴承上的应用。试验结果证明，PCVD－TiN具有良好的表面复形能力和良好的绕镀性。该镀层在200～400℃大气中具有良好的耐蚀和抗热震性能。它可用于高速钢精密轴承等加工精度高的工件的表面处理。

热等离子弧熔覆合金涂层的制备与组织性能

在自制的热等离子非转移弧熔覆设备上用 Stellite Ni6 0合金在钢的表面上进行熔覆处理。用优化后的熔覆工艺参数可以获得零稀释率的熔覆层 ,而且熔覆层与基体结合牢固。在对熔覆层进行化学成分、组织结构分析后发现 :熔覆层可以分为三层组织结构 ,这三层组织结构的形成与熔池的凝固过程有关。实验结果证明 。

等离子重熔对Al-16Si合金中Si相的细化作用

经等离子重熔的Ａ１－１６Ｓｉ合金与电阻炉重熔的相比，组织有明显的细化效果：初晶Ｓｉ最大长度由１２０μｍ变为１０μｍ，共晶 Ｓｉ最大长度由 ７５ μｍ变为 ８ μｍ，并且这种细化效果随着放电电流和气流量的增大而增强，分析认为，造成组织细化的原因是由于等离子熔炼特殊的加热方式所致，等离子轰击作用能使熔体中保留遗传信息的原子团簇变小，微观结构更加均匀，

新型射频等离子化学气相沉积系统

设计了一种射频电极作为基板支架的射频等离子体化学气相沉积系统.其温度可达700℃,负偏压是可调的.并以沉积的TiN膜的取向为例说明了系统的工作情况.

高速钢工件表面物理化学气相沉积TiN

介绍了等离子化学气相沉积氮化钛技术在高速钢刀具和飞机用高速钢精密轴承上的应用。经ＰＣＶＤ－ＴｉＮ处理的高速钢刀具可以提高其表面强度，降低摩擦系数，从而提高其使用寿命。处理过的高速钢轴承精度高，具有抗高温氧化和抗热震性能，满足了使用要求。

MOPCVD制备Ti(CN)硬膜研究

采用金属有机物四异丙基钛 (Ti[OC3 H7]4 )为钛源 ,在辅助加热PCVD设备上进行沉积Ti(CN)涂层研究。并对涂层进行了显微硬度测量、扫描电镜观察和X射线衍射分析。结果表明 ,此法制备的Ti(CN)涂层其显微硬度可达 15 6 80N/mm2 。Ti(CN)涂层仍为柱状晶结构 ,Ti(CN)晶体的d(2 0 0 )值随着炉温和氢、氮比的变化而变化。切削实验证明 ,6mm高速钢钻头经MOPCVD Ti(CN)涂镀后提高使用寿命 7 3倍 ;经MOPCVD Ti(CN)涂镀的6 5mm×2 2mm× 5mm直齿三面刃铣刀使用寿命是非涂镀的 8倍。

PCVD-Ti(CNO)薄膜的制备及性能的研究

研究了Ti(CN)薄膜内氧的作用.研究结果表明,Ti(CN)薄膜内加入氧后可以消除薄膜的柱状晶结构,薄膜的断口呈致密的纤维状组织.随着反应气体中空气或CO_2气体流量的增加,Ti(CNO)薄膜的硬度呈上升趋势,并在空气的流量为40ml/min或CO_2的流量为15ml/min时(分别约占总量的15%和6%)、薄膜的硬度达到最大值.

PCVD制备工业硬膜研究

用等离子体化学气相沉积（ＰＣＶＤ）技术制备了ＴｉＮ，ＴｉＣ，Ｔｉ（ＣＮ）和（ＴｉＳｉ）Ｎ膜及其组合的多层膜。ＰＣＶＤ具有很好的覆盖性，ＰＣＶＤ－ＴｉＮ具有很好的耐磨耐蚀性，膜与基体结合良好，因而用ＰＣＶＤ法在高速钢刀具，模具及轴承上沉积ＴｉＮ可大大提高其使用寿命。ＰＣＶＤ－ＴｉＣ和Ｔｉ（ＣＮ）膜无明显柱状晶，其显微硬度高于ＴｉＮ，亦可用于高速钢刀具及模具上提高其使用寿命。ＰＣＶＤ（ＴｉＳｉ）Ｎ的晶粒细化，氯含量和显微硬度随Ｓｉ含量而变化，（ＴｉＳｉ）Ｎ具有很好的抗高温氧化性。多层膜可调节膜层结构，减少残余应力，提高膜的机械性能。

用PCVD法制备抗高温氧化涂层的研究

研究了用ＰＣＶＤ法所制备的ＴｉＮ，ＴｉＡ１Ｎ及ＴｉＳｉＮ硬质涂层的抗高温氧化性及ＴｉＮ涂层在双氧水介质中的抗氧化性。结果表明，ＴｉＡ１Ｎ，ＴｉＳｉＮ涂层在空气中的抗高温氧化性可达７００℃以上， ＴｉＮ涂层可达６００℃。在双氧水介质中， ＰＣＶＤ－ＴｉＮ涂层仍具有较强的抗氧化能力， 且优于ＰＶＤ－ＴｉＮ