下一代光刻技术

本文从多方面对下一代光刻技术做了介绍和分析,重点描述了纳米压印光刻技术、极紫外光刻技术、无掩模光刻技术、原子光刻技术、电子束光刻技术等的原理、现状和优缺点,并展望了未来数十年的主流光刻技术。

LED紫外线装置对野外用水壶中饮用水消毒效果观察

目的研究LED紫外线装置对野外用水壶中饮用水消毒效果,为野外便携式水壶中饮用水消毒应用提供科学依据。方法采用细菌定量检测方法,对某LED紫外线装置消毒水壶中饮用水的效果进行观察。结果该LED紫外线消毒装置由9芯紫外线光源组合,有效波长为280 nm,紫外线辐射强度为1.8 m W/cm^2。用该紫外线装置直接照射装有1 L水的水壶内水体5 min,可使含900 cfu/ml的大肠杆菌数降到0 cfu/ml。结论该LED紫外线装置对野外用壶装饮用水具有较好的消毒效果。

深紫外LED的研究与应用

随着LED技术不断发展,其发光波长已经由可见光波段拓展到深紫外波段,其技术逐渐成熟和成本下降将使得紫外LED应用更加广泛,甚至可能超越目前的蓝光LED。从深紫外LED的发光特点,制作工艺等方面,重点介绍深紫外LED的目前的研究进展与产业化应用。摘要: