铬、碳掺杂TiAlSiN硬质涂层结构和性能研究

利用多弧离子镀设备,通过引入Cr和C元素对Ti Al Si N硬质涂层进行改性,制备出CrTiAlSiN和CrTiAlSiCN改性涂层。利用划痕仪、显维硬度计和球盘摩擦磨损机对3种涂层的结合强度和摩擦学性能进行对比研究。结果表明,改性后的CrTiAlSiN和CrTiAlSiCN涂层为Cr N和Ti(Al)N的复合结构涂层,C和Si元素以非晶化学态的形式存在。相比较于TiAlSiN涂层,CrTiAlSiN和CrTiAlSiCN涂层在保持较高结合强度的同时,硬度和摩擦系数均增加。