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银涂层节能还原炉技术的开发与大规模应用研究
1
作者
张宝顺
任长春
+4 位作者
王志权
冉胜国
肖建忠
宗冰
王体虎
《青海科技》
2023年第3期107-112,共6页
对现役多晶硅还原炉内壁进行增反射改性,进而使其拥有优越的近红外电磁波反射性能,是国际上重点攻关的多晶硅还原炉节能优化方向。文章提出一种还原炉内壁银涂层增反射改性方法,并在全球范围内率先将其成功应用在现役48对棒大型还原炉...
对现役多晶硅还原炉内壁进行增反射改性,进而使其拥有优越的近红外电磁波反射性能,是国际上重点攻关的多晶硅还原炉节能优化方向。文章提出一种还原炉内壁银涂层增反射改性方法,并在全球范围内率先将其成功应用在现役48对棒大型还原炉的节能升级上,该项成果已获得国际领先评价。由全48对棒银涂层还原炉组成的万吨级规模高纯多晶硅节能生产线现已经在青海省投产运行。银涂层节能还原炉技术突破了现役不锈钢还原炉内壁增反射改性节能技术大规模应用瓶颈,解决了困扰行业已久的高纯多晶硅低消耗生产难题,填补了多项国际空白,为我国多晶硅行业实现低碳生产探明了一条切实可行的路径。
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关键词
多晶硅
还原炉
节能生产
银涂层
内壁改性
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职称材料
题名
银涂层节能还原炉技术的开发与大规模应用研究
1
作者
张宝顺
任长春
王志权
冉胜国
肖建忠
宗冰
王体虎
机构
亚洲
硅
业
(
青海
)股份
有限公司
青海
省
硅
材料
重点实验室
青海
亚洲
硅
业
半导体
有限公司
青海亚洲硅业硅材料有限公司
青海
亚洲
硅
业
多晶
硅
有限公司
青海
省亚
硅
硅
材料
工程技术
有限公司
出处
《青海科技》
2023年第3期107-112,共6页
基金
青海省重大科技专项“基于多晶硅生产的循环产业链接技术”(2017-GX-A2)。
文摘
对现役多晶硅还原炉内壁进行增反射改性,进而使其拥有优越的近红外电磁波反射性能,是国际上重点攻关的多晶硅还原炉节能优化方向。文章提出一种还原炉内壁银涂层增反射改性方法,并在全球范围内率先将其成功应用在现役48对棒大型还原炉的节能升级上,该项成果已获得国际领先评价。由全48对棒银涂层还原炉组成的万吨级规模高纯多晶硅节能生产线现已经在青海省投产运行。银涂层节能还原炉技术突破了现役不锈钢还原炉内壁增反射改性节能技术大规模应用瓶颈,解决了困扰行业已久的高纯多晶硅低消耗生产难题,填补了多项国际空白,为我国多晶硅行业实现低碳生产探明了一条切实可行的路径。
关键词
多晶硅
还原炉
节能生产
银涂层
内壁改性
Keywords
Polysilicon
CVD reactor
Energy-saving production
Silver coatings
Inner wall modifications
分类号
TF06 [冶金工程—冶金物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
银涂层节能还原炉技术的开发与大规模应用研究
张宝顺
任长春
王志权
冉胜国
肖建忠
宗冰
王体虎
《青海科技》
2023
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