化学气相沉积镀膜机控制研究

以RF-500型镀膜机为例介绍了化学气相沉积(CVD)镀膜机的结构以及工作原理;为克服RF-500型CVD镀膜机传统的电气控制缺点,开发了一套基于工业控制计算机的控制系统。描述了该镀膜机控制系统的硬件结构和软件功能。对基片温度、气体流量及开关量的控制效果进行了大量的实验研究。结果表明:基片温度控制精度达到±1℃、工作(反应)气体的流量控制精度达到10mL/min,可以进行精确的开关量控制。应用表明:该控制系统可以实时监控RF-500型CVD镀膜机的运行。

框架结构梁柱节点核心区的施工分析与实践

本文从施工角度,主要从框架结构梁柱节点核心区钢筋与混凝土的施工方面进行了较为详尽的阐述,并将传统施工方法与改进以后的做法进行了对比。