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化学溶液沉积法制备Pb_(0.5)Ba_(0.5)TiO_3薄膜的结构及电学性能研究
1
作者
陈如麒
朱贵文
刘为方
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期78-81,共4页
采用化学溶液沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备钛酸铅钡Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)薄膜。薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成。此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕.薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为17 nm。在700℃1 h退火的薄膜有良好的电学特性,在1...
采用化学溶液沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备钛酸铅钡Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)薄膜。薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成。此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕.薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为17 nm。在700℃1 h退火的薄膜有良好的电学特性,在1 kHz频率下测量得到的介电常数、损耗因子分别约为265和5%;此外,在500 kV/cm电场驱动下,薄膜得到的剩余极化(2Pr)约为16μC/cm2,矫顽电场(Ec)约为110 kV/cm。这些结果表明,PBT固溶体薄膜有望成为铁电器件的候选材料。
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关键词
钛酸铅钡
PBT
介电
铁电
化学溶液沉积法
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职称材料
题名
化学溶液沉积法制备Pb_(0.5)Ba_(0.5)TiO_3薄膜的结构及电学性能研究
1
作者
陈如麒
朱贵文
刘为方
机构
华南农业大学公共基础课实验教学中心
广
东
药学院基础学院
韩华
新
能源
(
启
东
)
有限公司
中山大学物理科学与工程技术学院∥光电材料与技术国家重点实验室
出处
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期78-81,共4页
基金
广东省高校优秀青年创新人才培育资助项目(LYM10036)
华南农业大学校长科学基金资助项目(6900-k09183)
文摘
采用化学溶液沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备钛酸铅钡Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)薄膜。薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成。此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕.薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为17 nm。在700℃1 h退火的薄膜有良好的电学特性,在1 kHz频率下测量得到的介电常数、损耗因子分别约为265和5%;此外,在500 kV/cm电场驱动下,薄膜得到的剩余极化(2Pr)约为16μC/cm2,矫顽电场(Ec)约为110 kV/cm。这些结果表明,PBT固溶体薄膜有望成为铁电器件的候选材料。
关键词
钛酸铅钡
PBT
介电
铁电
化学溶液沉积法
Keywords
Pb0. 5Ba0. 5TIO3
PBT
dielectric
ferroelectric
chemical solution deposition method
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
化学溶液沉积法制备Pb_(0.5)Ba_(0.5)TiO_3薄膜的结构及电学性能研究
陈如麒
朱贵文
刘为方
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2012
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