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题名基于MEMS技术新型湿度传感器的研制
被引量:2
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作者
吴大军
唐祺
杨姗姗
温殿忠
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机构
江苏省电子产品装备制造工程技术研究开发中心
淮安信息职业技术学院电子工程学院
飞兆半导体(北京)有限公司
黑龙江大学集成电路重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第9期570-575,共6页
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基金
江苏省科技厅科技创新与成果转化(科技服务平台)专项引导资金项目(BM2009825)
淮安市产学研合作计划研究项目(HAC201111)
淮安信息职业技术学院青年基金项目(HXYQ2013004)
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文摘
描述了新型金属-Al2O3-PI-金属电容式湿度传感器的结构及工作原理,利采用Matlab软件模拟了介电常数和湿度的关系,采用MEMS技术制造了新型湿度传感器,设计了测试方案,测量和分析了该新型湿度传感器的灵敏度特性和迟滞特性,分析了测试数据产生偏差的原因。测试结果显示,湿度传感器的灵敏度为单位湿度变化8 pF,湿度低于RH80%,线性度非常好。湿度传感器的迟滞特性良好,在RH70%时,迟滞差最大约为RH3%。分析结果表明,该湿度传感器结构合理,工艺成功,重点解决了该传感器的涂覆聚酰亚胺后蒸铝工艺与CMOS标准工艺兼容问题。为利用CMOS标准工艺进行集成MEMS湿度传感器的研制做出了有益的尝试,传感器的线性度和迟滞特性指标符合要求,该新型湿度传感器在现代MEMS技术中具有良好的应用前景。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
聚酰亚胺(PI)
湿度传感器
COMS工艺
灵敏度
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Keywords
micro-electromechanical system (MEMS)
polyimide (PI)
humidity sensor
CMOS process
sensitivity
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分类号
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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