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MMCs的冲击力学性能及拉压不对称性研究 被引量:1
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作者 黄晨光 段祝平 +1 位作者 吕毓雄 LIRKY 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期120-127,共8页
利用动态 Hopkinson装置和 Instron 40 2 6测试了 15 % Si CP/Al- 5 Cu、 15 % Si CP/2 12 4、15 % Si CP/Al- L i、15 % Si CW/6 0 6 1和 30 % Si CP/6 0 6 1铝合金等几种复合材料的准静态和冲击力学性能 ,探讨了应变率等对于强度、硬... 利用动态 Hopkinson装置和 Instron 40 2 6测试了 15 % Si CP/Al- 5 Cu、 15 % Si CP/2 12 4、15 % Si CP/Al- L i、15 % Si CW/6 0 6 1和 30 % Si CP/6 0 6 1铝合金等几种复合材料的准静态和冲击力学性能 ,探讨了应变率等对于强度、硬化模量和失效应变等的影响。同时观察了上述材料动态拉伸断口 ,揭示了金属基复合材料破坏的几种不同控制机理。最后讨论了实验中发现的上述复合材料拉压不对称性的新特征 ,其中考虑了金属基复合材料的热失配应力和不同的损伤。 展开更多
关键词 金属基复合材料 应变率 拉压不对称性 HOPKINSON杆 冲击力学性能
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TiN覆盖层和Co/Ti/Si三元固相反应改善超薄CoSi_2高温稳定性 被引量:1
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作者 刘京 茹国平 +3 位作者 顾志光 屈新萍 李炳宗 朱剑豪 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期214-217,共4页
本文研究不同金属薄膜结构形成的超薄CoSi2膜的高温稳定性.采用离子束溅射和反应磁控溅射技术制备Co/Si、TiN/Co/Si、Co/Ti/Si、TiN/Co/Ti/Si不同结构,在高纯氮气下进行快速热退火(RTA)... 本文研究不同金属薄膜结构形成的超薄CoSi2膜的高温稳定性.采用离子束溅射和反应磁控溅射技术制备Co/Si、TiN/Co/Si、Co/Ti/Si、TiN/Co/Ti/Si不同结构,在高纯氮气下进行快速热退火(RTA),形成CoSi2薄膜.应用四探针薄层电阻测试、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)进行测试.实验结果表明:TiN覆盖层和Co/Ti/Si三元固相反应都是有利于形成具有良好高温稳定特性的CoSi2薄膜的有效方法,有望应用于深亚微米接触和互连技术中. 展开更多
关键词 VLSI ULSI IC 制造工艺 金属薄膜 二氧化钴
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