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不同晶粒形状材料的力学性能
1
作者
李刘合
金杰
+3 位作者
刘惊涛
梁进智
张彦华
朱剑豪
《上海建材》
2006年第1期30-33,共4页
采用有限元的方法来模拟纳米压痕实验的加、卸载过程,采用的是简化了的二维模型,有限元模型考虑了纳米压痕的标准Berkovich压头,介绍了有限元模型的几何参数、边界条件、材料特性与加载方式。从所得到的载荷与压入深度的关系曲线,以及...
采用有限元的方法来模拟纳米压痕实验的加、卸载过程,采用的是简化了的二维模型,有限元模型考虑了纳米压痕的标准Berkovich压头,介绍了有限元模型的几何参数、边界条件、材料特性与加载方式。从所得到的载荷与压入深度的关系曲线,以及由此计算而得到的硬度-位移曲线等为依据,对在纳米压痕测试过程中,不同的晶粒截面形状以及截面面积对整体材料的力学性能的影响进行了分析讨论。研究表明,在晶粒截面面积相等的情况下,当纳米压痕实验压入相同的深度时,晶粒的截面形状为矩形的材料的硬度高于晶粒的截面形状为三角形的材料的硬度,而且,当晶粒的截面形状相同的情况下,整体材料的硬度与晶粒截面的面积存在一种近似的正比例关系。这种研究结果说明,即使在材料相同的情况下,如果晶粒的截面形状不同,由于力学传递关系的不同,仍然能够使得薄膜具有不同的宏观力学性能。
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关键词
纳米压痕
力学性能
有限元分析
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职称材料
磁控溅射技术及其发展
被引量:
60
2
作者
李芬
朱颖
+2 位作者
李刘合
卢求元
朱剑豪
《真空电子技术》
2011年第3期49-54,共6页
磁控溅射技术可制备超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜,以及各种具有特殊功能的薄膜,在工业薄膜制备领域的应用非常广泛。本文着重介绍了磁控溅射技术原理、特点、磁控溅射技术的发展史及其发展趋势。
关键词
薄膜制备
磁控溅射
平衡磁控溅射
非平衡磁控溅射
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职称材料
MMCs的冲击力学性能及拉压不对称性研究
被引量:
1
3
作者
黄晨光
段祝平
+1 位作者
吕毓雄
LIRKY
《复合材料学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期120-127,共8页
利用动态 Hopkinson装置和 Instron 40 2 6测试了 15 % Si CP/Al- 5 Cu、 15 % Si CP/2 12 4、15 % Si CP/Al- L i、15 % Si CW/6 0 6 1和 30 % Si CP/6 0 6 1铝合金等几种复合材料的准静态和冲击力学性能 ,探讨了应变率等对于强度、硬...
利用动态 Hopkinson装置和 Instron 40 2 6测试了 15 % Si CP/Al- 5 Cu、 15 % Si CP/2 12 4、15 % Si CP/Al- L i、15 % Si CW/6 0 6 1和 30 % Si CP/6 0 6 1铝合金等几种复合材料的准静态和冲击力学性能 ,探讨了应变率等对于强度、硬化模量和失效应变等的影响。同时观察了上述材料动态拉伸断口 ,揭示了金属基复合材料破坏的几种不同控制机理。最后讨论了实验中发现的上述复合材料拉压不对称性的新特征 ,其中考虑了金属基复合材料的热失配应力和不同的损伤。
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关键词
金属基复合材料
应变率
拉压不对称性
HOPKINSON杆
冲击力学性能
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职称材料
TiN覆盖层和Co/Ti/Si三元固相反应改善超薄CoSi_2高温稳定性
被引量:
1
4
作者
刘京
茹国平
+3 位作者
顾志光
屈新萍
李炳宗
朱剑豪
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第3期214-217,共4页
本文研究不同金属薄膜结构形成的超薄CoSi2膜的高温稳定性.采用离子束溅射和反应磁控溅射技术制备Co/Si、TiN/Co/Si、Co/Ti/Si、TiN/Co/Ti/Si不同结构,在高纯氮气下进行快速热退火(RTA)...
本文研究不同金属薄膜结构形成的超薄CoSi2膜的高温稳定性.采用离子束溅射和反应磁控溅射技术制备Co/Si、TiN/Co/Si、Co/Ti/Si、TiN/Co/Ti/Si不同结构,在高纯氮气下进行快速热退火(RTA),形成CoSi2薄膜.应用四探针薄层电阻测试、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)进行测试.实验结果表明:TiN覆盖层和Co/Ti/Si三元固相反应都是有利于形成具有良好高温稳定特性的CoSi2薄膜的有效方法,有望应用于深亚微米接触和互连技术中.
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关键词
VLSI
ULSI
IC
制造工艺
金属薄膜
二氧化钴
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职称材料
题名
不同晶粒形状材料的力学性能
1
作者
李刘合
金杰
刘惊涛
梁进智
张彦华
朱剑豪
机构
北京航空航天
大学
机械工程及自动化学院
香港城市大学应用物理及材料系
出处
《上海建材》
2006年第1期30-33,共4页
文摘
采用有限元的方法来模拟纳米压痕实验的加、卸载过程,采用的是简化了的二维模型,有限元模型考虑了纳米压痕的标准Berkovich压头,介绍了有限元模型的几何参数、边界条件、材料特性与加载方式。从所得到的载荷与压入深度的关系曲线,以及由此计算而得到的硬度-位移曲线等为依据,对在纳米压痕测试过程中,不同的晶粒截面形状以及截面面积对整体材料的力学性能的影响进行了分析讨论。研究表明,在晶粒截面面积相等的情况下,当纳米压痕实验压入相同的深度时,晶粒的截面形状为矩形的材料的硬度高于晶粒的截面形状为三角形的材料的硬度,而且,当晶粒的截面形状相同的情况下,整体材料的硬度与晶粒截面的面积存在一种近似的正比例关系。这种研究结果说明,即使在材料相同的情况下,如果晶粒的截面形状不同,由于力学传递关系的不同,仍然能够使得薄膜具有不同的宏观力学性能。
关键词
纳米压痕
力学性能
有限元分析
分类号
TB383.4 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
磁控溅射技术及其发展
被引量:
60
2
作者
李芬
朱颖
李刘合
卢求元
朱剑豪
机构
北京航空航天
大学
机械工程及自动化学院
香港城市大学应用物理及材料系
出处
《真空电子技术》
2011年第3期49-54,共6页
基金
国家自然科学基金(10775013)
教育部新世纪优秀人才支持计划
"中央高校基本科研业务费"专项资金(YWF-10-01-A07)资助的课题
文摘
磁控溅射技术可制备超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜,以及各种具有特殊功能的薄膜,在工业薄膜制备领域的应用非常广泛。本文着重介绍了磁控溅射技术原理、特点、磁控溅射技术的发展史及其发展趋势。
关键词
薄膜制备
磁控溅射
平衡磁控溅射
非平衡磁控溅射
Keywords
Thin film fabrication
Magnetron sputtering
Balanced magnetron sputtering
Unbalanced magnetron sputtering
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
MMCs的冲击力学性能及拉压不对称性研究
被引量:
1
3
作者
黄晨光
段祝平
吕毓雄
LIRKY
机构
中国科学院力学研究所
中国科学院金属研究所
香港城市大学
应用
物理及
材料
科学
系
出处
《复合材料学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期120-127,共8页
基金
国家自然科学基金重大项目! (19891180 )
文摘
利用动态 Hopkinson装置和 Instron 40 2 6测试了 15 % Si CP/Al- 5 Cu、 15 % Si CP/2 12 4、15 % Si CP/Al- L i、15 % Si CW/6 0 6 1和 30 % Si CP/6 0 6 1铝合金等几种复合材料的准静态和冲击力学性能 ,探讨了应变率等对于强度、硬化模量和失效应变等的影响。同时观察了上述材料动态拉伸断口 ,揭示了金属基复合材料破坏的几种不同控制机理。最后讨论了实验中发现的上述复合材料拉压不对称性的新特征 ,其中考虑了金属基复合材料的热失配应力和不同的损伤。
关键词
金属基复合材料
应变率
拉压不对称性
HOPKINSON杆
冲击力学性能
Keywords
high strain rate
MMC materials
SEM
Split Hopkinson Bar
分类号
TB331.01 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
TiN覆盖层和Co/Ti/Si三元固相反应改善超薄CoSi_2高温稳定性
被引量:
1
4
作者
刘京
茹国平
顾志光
屈新萍
李炳宗
朱剑豪
机构
复旦
大学
电子工程
系
香港城市大学
应用
物理及
材料
科学
系
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第3期214-217,共4页
基金
国家自然科学基金
上海应用材料微电子基金
文摘
本文研究不同金属薄膜结构形成的超薄CoSi2膜的高温稳定性.采用离子束溅射和反应磁控溅射技术制备Co/Si、TiN/Co/Si、Co/Ti/Si、TiN/Co/Ti/Si不同结构,在高纯氮气下进行快速热退火(RTA),形成CoSi2薄膜.应用四探针薄层电阻测试、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)进行测试.实验结果表明:TiN覆盖层和Co/Ti/Si三元固相反应都是有利于形成具有良好高温稳定特性的CoSi2薄膜的有效方法,有望应用于深亚微米接触和互连技术中.
关键词
VLSI
ULSI
IC
制造工艺
金属薄膜
二氧化钴
Keywords
Thermodynamic stability
Thin films
分类号
TN470.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同晶粒形状材料的力学性能
李刘合
金杰
刘惊涛
梁进智
张彦华
朱剑豪
《上海建材》
2006
0
下载PDF
职称材料
2
磁控溅射技术及其发展
李芬
朱颖
李刘合
卢求元
朱剑豪
《真空电子技术》
2011
60
下载PDF
职称材料
3
MMCs的冲击力学性能及拉压不对称性研究
黄晨光
段祝平
吕毓雄
LIRKY
《复合材料学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
下载PDF
职称材料
4
TiN覆盖层和Co/Ti/Si三元固相反应改善超薄CoSi_2高温稳定性
刘京
茹国平
顾志光
屈新萍
李炳宗
朱剑豪
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
1
下载PDF
职称材料
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