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红外光学微结构表面的高效自适应飞刀切削
被引量:
1
1
作者
李佩铮
杜雪
+2 位作者
孙占文
王素娟
徐诗俊
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第15期1845-1856,共12页
为了实现红外光学微结构表面的高效、高精度、低损伤加工,提出了一种超精密自适应飞刀切削方法,并进行了实验验证。根据飞刀切削的运动学特性,建立了飞刀切削塑性加工模型。以最大切屑厚度始终小于脆塑转变临界为原则,根据微结构表面的...
为了实现红外光学微结构表面的高效、高精度、低损伤加工,提出了一种超精密自适应飞刀切削方法,并进行了实验验证。根据飞刀切削的运动学特性,建立了飞刀切削塑性加工模型。以最大切屑厚度始终小于脆塑转变临界为原则,根据微结构表面的局部形貌特征,采用迭代算法规划出具有动态变化进给速度的刀具轨迹。最后,将所提出方法与传统飞刀切削方法进行对比实验,验证了所提出自适应飞刀切削方法的有效性。通过实验成功在单晶硅材料上加工了无脆性断裂的微沟槽,表面粗糙度达到18 nm。与传统飞刀切削方法相比,超精密自适应飞刀切削方法在不降低进给速度的前提下,避免了脆性断裂,加工效率是传统方法的2.5倍。
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关键词
红外光学材料
超精密飞刀切削
微结构
自适应调速
加工效率
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职称材料
题名
红外光学微结构表面的高效自适应飞刀切削
被引量:
1
1
作者
李佩铮
杜雪
孙占文
王素娟
徐诗俊
机构
广东
工业
大学
精密
电子制造
技术
与装备
国家
重点
实验室
香港理工大学工业与系统工程学系超精密加工技术国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第15期1845-1856,共12页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.52005110,No.51975128)
广东省自然科学基金资助项目(No.2022A1515011055)
香港创新科技署资助项目(No.ITS/246/18FX)。
文摘
为了实现红外光学微结构表面的高效、高精度、低损伤加工,提出了一种超精密自适应飞刀切削方法,并进行了实验验证。根据飞刀切削的运动学特性,建立了飞刀切削塑性加工模型。以最大切屑厚度始终小于脆塑转变临界为原则,根据微结构表面的局部形貌特征,采用迭代算法规划出具有动态变化进给速度的刀具轨迹。最后,将所提出方法与传统飞刀切削方法进行对比实验,验证了所提出自适应飞刀切削方法的有效性。通过实验成功在单晶硅材料上加工了无脆性断裂的微沟槽,表面粗糙度达到18 nm。与传统飞刀切削方法相比,超精密自适应飞刀切削方法在不降低进给速度的前提下,避免了脆性断裂,加工效率是传统方法的2.5倍。
关键词
红外光学材料
超精密飞刀切削
微结构
自适应调速
加工效率
Keywords
infrared optical material
ultra-precision flying cutting
microstructures
adaptive tuning
machining efficiency
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
红外光学微结构表面的高效自适应飞刀切削
李佩铮
杜雪
孙占文
王素娟
徐诗俊
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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职称材料
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