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硅表面氧化膜的X光电子谱及部分参数固定法曲线拟合
被引量:
2
1
作者
季振国
汪雷
袁骏
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第1期23-28,共6页
本文用X光电子谱及部分参数固定曲线拟合方法分析了热生长硅氧化膜和硅的自然氧化膜中硅和氧的结合状态,发现两者均不是单一的SiO2,硅在以上两种氧化膜中共有四种氧化状态,即Si+1,Si+2,Si+3和Si+4,它们相对...
本文用X光电子谱及部分参数固定曲线拟合方法分析了热生长硅氧化膜和硅的自然氧化膜中硅和氧的结合状态,发现两者均不是单一的SiO2,硅在以上两种氧化膜中共有四种氧化状态,即Si+1,Si+2,Si+3和Si+4,它们相对于体Si2p,峰的化学位移分别为0.85,2.35,3.55和4.60eV.在硅的初期氧化阶段无Si+4成分出现.
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关键词
硅
氧化膜
X光电谱
参数
曲线拟合
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职称材料
微氮直拉硅单晶中的原生氧沉淀
2
作者
杨德仁
姚鸿年
阙端磷
《浙江大学学报(自然科学版)》
CSCD
1994年第2期244-250,共7页
本文利用红外光谱技术研究了氮保护气氛下生长直拉微氮硅单晶中原生氧沉淀.研究发现,微氮硅单晶中除了有和1224cm-1红外吸收峰相对应的a。方石英原生氧沉淀外,还存在和1026,1014,996和801cm-1红外吸收...
本文利用红外光谱技术研究了氮保护气氛下生长直拉微氮硅单晶中原生氧沉淀.研究发现,微氮硅单晶中除了有和1224cm-1红外吸收峰相对应的a。方石英原生氧沉淀外,还存在和1026,1014,996和801cm-1红外吸收峰相对应的氧氮复合体的原生氧沉淀.实验还研究了原生氧沉淀在微力硅单晶中的分布,以及和氧碳氢杂质的关系,进一步指出,上述除1224cm-1之外的红外吸收峰,并不是某一种氧现复合体的振动吸收,而是对应着几种不同形态的氧氨复合体。
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关键词
硅单晶
氮
氧沉淀
单晶控制
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职称材料
谐波轴承负荷分布的一种新算法
3
作者
乐可锡
全永昕
+2 位作者
周桂如
陈宗农
张明杰
《浙江大学学报(自然科学版)》
CSCD
1994年第4期396-404,共9页
本文通过建立单力圆环迭加计算模型,导出了谐波轴承负荷分布的一种新算法。该算法获得的结果不但与实验结果吻合,而且较现有算法的数学表达式来得简单,精度高,计算量大幅度减少,并能计算不同类型的凸轮廓曲线的轴承负荷分布。
关键词
负荷分布
算法
谐波传动
薄壁轴承
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职称材料
题名
硅表面氧化膜的X光电子谱及部分参数固定法曲线拟合
被引量:
2
1
作者
季振国
汪雷
袁骏
机构
浙江大学分析测试中心
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第1期23-28,共6页
文摘
本文用X光电子谱及部分参数固定曲线拟合方法分析了热生长硅氧化膜和硅的自然氧化膜中硅和氧的结合状态,发现两者均不是单一的SiO2,硅在以上两种氧化膜中共有四种氧化状态,即Si+1,Si+2,Si+3和Si+4,它们相对于体Si2p,峰的化学位移分别为0.85,2.35,3.55和4.60eV.在硅的初期氧化阶段无Si+4成分出现.
关键词
硅
氧化膜
X光电谱
参数
曲线拟合
Keywords
Electron spectroscopy
Film growth
Oxidation
Silicon
X rays
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
微氮直拉硅单晶中的原生氧沉淀
2
作者
杨德仁
姚鸿年
阙端磷
机构
高纯硅及硅烷国家重点实验室
出处
《浙江大学学报(自然科学版)》
CSCD
1994年第2期244-250,共7页
基金
国家自然科学基金
高纯硅及硅烷国家实验室基金
文摘
本文利用红外光谱技术研究了氮保护气氛下生长直拉微氮硅单晶中原生氧沉淀.研究发现,微氮硅单晶中除了有和1224cm-1红外吸收峰相对应的a。方石英原生氧沉淀外,还存在和1026,1014,996和801cm-1红外吸收峰相对应的氧氮复合体的原生氧沉淀.实验还研究了原生氧沉淀在微力硅单晶中的分布,以及和氧碳氢杂质的关系,进一步指出,上述除1224cm-1之外的红外吸收峰,并不是某一种氧现复合体的振动吸收,而是对应着几种不同形态的氧氨复合体。
关键词
硅单晶
氮
氧沉淀
单晶控制
Keywords
silicon
nitrogen doped
oxygen precipitation
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
谐波轴承负荷分布的一种新算法
3
作者
乐可锡
全永昕
周桂如
陈宗农
张明杰
机构
高纯硅及硅烷国家重点实验室
出处
《浙江大学学报(自然科学版)》
CSCD
1994年第4期396-404,共9页
文摘
本文通过建立单力圆环迭加计算模型,导出了谐波轴承负荷分布的一种新算法。该算法获得的结果不但与实验结果吻合,而且较现有算法的数学表达式来得简单,精度高,计算量大幅度减少,并能计算不同类型的凸轮廓曲线的轴承负荷分布。
关键词
负荷分布
算法
谐波传动
薄壁轴承
Keywords
harmonic rolling beering
load distribution
calculating method
分类号
TH132.43 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅表面氧化膜的X光电子谱及部分参数固定法曲线拟合
季振国
汪雷
袁骏
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994
2
下载PDF
职称材料
2
微氮直拉硅单晶中的原生氧沉淀
杨德仁
姚鸿年
阙端磷
《浙江大学学报(自然科学版)》
CSCD
1994
0
下载PDF
职称材料
3
谐波轴承负荷分布的一种新算法
乐可锡
全永昕
周桂如
陈宗农
张明杰
《浙江大学学报(自然科学版)》
CSCD
1994
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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