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Ta_2O5/MnO_2复合湿敏薄膜制备工艺研究
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作者 殷景华 桂太龙 +1 位作者 李伟东 段智勇 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2002年第6期68-69,共2页
采用钽片阳极氧化和硝酸锰热分解方法,制备Ta_2O_5/MnO_2复合薄膜,研究了电解液种 类、浓度(质量分数)、电压对Ta_2O_5/MnO_2复合薄膜绝缘性能的影响.
关键词 湿敏薄膜 制备工艺 TA2O5 MNO2 复合薄膜 氧化钽 二氧化锰 薄膜电容式湿度传感器
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