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替代ODS清洗用氟系溶剂的介绍 被引量:2
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作者 津崎真彰 李健 《洗净技术》 2004年第9期60-66,共7页
文章介绍了替代CFC-113和1,1,1-三氯乙烷使用的新型氟系溶剂含氢氟氯烃、全氟烃和全氟醚的主要性能特点。
关键词 氟系溶剂 含氢氟氯烃、全氟烃、全氟醚 清洗
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