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刻蚀在逻辑器件图形化中的角色
1
作者
Thorsten Lill
Steffen Schulze
《集成电路应用》
2008年第6期17-17,共1页
由于引进极紫外线(EUV)光刻技术的迟滞,技术专家们开始利用现有光刻工具的替代性方案去完成32及22纳米工艺。例如,一个颇具前景的解决方案是将间距要求严苛的图形拆分到两个掩膜版,这样图形间距可以加倍。
关键词
图形化
逻辑器件
刻蚀
光刻技术
纳米工艺
技术专家
图形拆分
紫外线
下载PDF
职称材料
题名
刻蚀在逻辑器件图形化中的角色
1
作者
Thorsten Lill
Steffen Schulze
机构
applied materials santa clara
Mentor Graphics Wilsonville
出处
《集成电路应用》
2008年第6期17-17,共1页
文摘
由于引进极紫外线(EUV)光刻技术的迟滞,技术专家们开始利用现有光刻工具的替代性方案去完成32及22纳米工艺。例如,一个颇具前景的解决方案是将间距要求严苛的图形拆分到两个掩膜版,这样图形间距可以加倍。
关键词
图形化
逻辑器件
刻蚀
光刻技术
纳米工艺
技术专家
图形拆分
紫外线
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TP332.1 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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作者
出处
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1
刻蚀在逻辑器件图形化中的角色
Thorsten Lill
Steffen Schulze
《集成电路应用》
2008
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