立足于本土,服务于中国半导体制造业

中国是一个激动人心的市场．充满了希望，对于BOC Edwards来说也至关重要。作为干泵、涡轮泵和废弃物处理系统的市场领导者．我们绝对承诺通过持续的本地投资来保持我们卓越的声誉和市场领导地位。

机载干泵—一个革新的真空技术

传统中为了得到良好的运行,真空干泵总是被安装在远离对真空环境要求苛刻的机台的地方。这主要因为真空泵的洁净度、稳定性、重量、尺寸、振动、噪声和表面温度都会直接影响到机台运行。BOC Edwards创造性的开发生产了一款既小又轻的干泵-EPX180,它符合所有机载真空的要求。此外,这种独特的设计还使得EPX500真空泵能达到更低的压力和更高的抽速。其优点是在高真空工艺中用一个EPX泵代替组泵,并且就只需一个阀件。此技术可以使一个单泵从大气抽到10-7 Torr。