传感器领域中无处不在的MEMS技术

从半导体集成电路技术发展而来的MEMS (微机械电子系统)技术日渐成熟。目前MEMS技术在传感器领域的应用增长较快,特别是在加速度计、压力传感器、红外传感器等应用中, MEMS发挥了巨大的作用,可用于压力和加速度测量等多种应用,这些也极大地推动了传感器技术和MEMS技术的发展。