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PHASE ANALYSES FOR DUAL ION BEAM DEPOSITED ZrO_2 FILMS ON NaCl SUBSTRATE
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作者 黄宁康 汪德志 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 1994年第4期202-205,共4页
ＰＨＡＳＥＡＮＡＬＹＳＥＳＦＯＲＤＵＡＬＩＯＮＢＥＡＭＤＥＰＯＳＩＴＥＤＺｒＯ_２ＦＩＬＭＳＯＮＮａＣｌＳＵＢＳＴＲＡＴＥＨｕａｎｇＮｉｎｇｋａｎｇ（黄宁康）ａｎｄＷａｎｇＤｅｚｈｉ（汪德志）（Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆ... ＰＨＡＳＥＡＮＡＬＹＳＥＳＦＯＲＤＵＡＬＩＯＮＢＥＡＭＤＥＰＯＳＩＴＥＤＺｒＯ_２ＦＩＬＭＳＯＮＮａＣｌＳＵＢＳＴＲＡＴＥＨｕａｎｇＮｉｎｇｋａｎｇ（黄宁康）ａｎｄＷａｎｇＤｅｚｈｉ（汪德志）（ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＮｕｃｌｅａｒＳｃｉｅｎｃｅａｎｄ?.. 展开更多
关键词 ZRO2薄膜 氯化钠衬底 离子束沉积
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