激光光谱法等离子体裂解甲烷深度的实验研究

利用甲烷的强吸收振动带v3,采用吸收光谱法通过测量3391nm He-Ne激光穿过等离子体反应管的透射光强来考察甲烷完全裂解时间随放电电流和气压的变化规律。实验结果表明:对实验所用的封离系统,在直流和高频(33KHz)放电条件下,所得的甲烷裂解率分别为96%和98%。甲烷完全裂解的时间随气压的增加而增加,随放电电流的增大而减小;裂解效率直流放电比高频放电的高。