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Gemenex全自动湿法批处理工艺设备
1
《集成电路应用》
2009年第10期35-35,共1页
Gemenex量产线是全自动的湿法批处理工艺设备,可用干去除硅片线锯损伤、预清洗、表面制绒(纹理化)和PSG去除。该设备具有优化的制绒工艺能力,保证连续刻蚀速率的排出/进给装置能最小化化学品的消耗。独特的干燥技术通过最小化硅片...
Gemenex量产线是全自动的湿法批处理工艺设备,可用干去除硅片线锯损伤、预清洗、表面制绒(纹理化)和PSG去除。该设备具有优化的制绒工艺能力,保证连续刻蚀速率的排出/进给装置能最小化化学品的消耗。独特的干燥技术通过最小化硅片破损和干燥点来获得更高的成品率。其低维护要求和长寿命周期的元件的设计,可降低用户成本。设备还具有减少能量和水消耗的能力。可通过TCP/IP或MODEM载入工艺参数。
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关键词
工艺设备
批处理
全自动
湿法
TCP/IP
工艺能力
干燥技术
MODEM
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题名
Gemenex全自动湿法批处理工艺设备
1
机构
lotus systems
出处
《集成电路应用》
2009年第10期35-35,共1页
文摘
Gemenex量产线是全自动的湿法批处理工艺设备,可用干去除硅片线锯损伤、预清洗、表面制绒(纹理化)和PSG去除。该设备具有优化的制绒工艺能力,保证连续刻蚀速率的排出/进给装置能最小化化学品的消耗。独特的干燥技术通过最小化硅片破损和干燥点来获得更高的成品率。其低维护要求和长寿命周期的元件的设计,可降低用户成本。设备还具有减少能量和水消耗的能力。可通过TCP/IP或MODEM载入工艺参数。
关键词
工艺设备
批处理
全自动
湿法
TCP/IP
工艺能力
干燥技术
MODEM
分类号
TN915.05 [电子电信—通信与信息系统]
TE986 [石油与天然气工程—石油机械设备]
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1
Gemenex全自动湿法批处理工艺设备
《集成电路应用》
2009
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