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大型X射线光学仪器:单层镜和多层镜的制造与表征(英文)
被引量:
1
1
作者
Michael Strmer
Dietrich Huβler
+1 位作者
Wolfgang Jger
Rüdiger Bormann
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期1869-1877,共9页
150 ~500 mm长度的各种X射线光学元件可用于光束导引,光束调整,以及单色化。本文介绍了两种不同的大型X射线反射镜。第一种为单层反射镜,这种反射镜以2°掠入射角在软X射线区(50 ~200 eV)起全反射镜作用,可用于自由电子激光器,如...
150 ~500 mm长度的各种X射线光学元件可用于光束导引,光束调整,以及单色化。本文介绍了两种不同的大型X射线反射镜。第一种为单层反射镜,这种反射镜以2°掠入射角在软X射线区(50 ~200 eV)起全反射镜作用,可用于自由电子激光器,如德国汉堡的FLASH。第二种是多层镜,由于它的布喇格反射特性,适于作为反射镜以0 .4 ~1°的入射角用于硬X射线区(20 ~50 keV) ,如层析光束线的同步辐射存储环中。两种反射镜都用最新物理汽相淀积法制备,并用磁控溅射来实现X射线光学应用所需要的优良光学品质。这一淀积工艺使不同批次的镀膜稳定性良好,有利于实际反射镜在优质衬底上的最后淀积。单层镜和多层镜在它们的相关能量范围内都有很高的反射率,表面粗糙度也很低,且在整个光学波长区这些特性表现均匀。文中所叙相关研究都是借助X射线反射计量(XRR)法,透射电子显微镜(TEM)、光学轮廓仪(OP) ,以及原子力显微镜(AFM)完成的。
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关键词
X射线光学
多层膜反射镜
全反射镜
X射线反射测量
磁控溅射
同步辐射
自由电子激光器
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职称材料
题名
大型X射线光学仪器:单层镜和多层镜的制造与表征(英文)
被引量:
1
1
作者
Michael Strmer
Dietrich Huβler
Wolfgang Jger
Rüdiger Bormann
机构
Institute
of
materials
Research
microanalysis of materials
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期1869-1877,共9页
文摘
150 ~500 mm长度的各种X射线光学元件可用于光束导引,光束调整,以及单色化。本文介绍了两种不同的大型X射线反射镜。第一种为单层反射镜,这种反射镜以2°掠入射角在软X射线区(50 ~200 eV)起全反射镜作用,可用于自由电子激光器,如德国汉堡的FLASH。第二种是多层镜,由于它的布喇格反射特性,适于作为反射镜以0 .4 ~1°的入射角用于硬X射线区(20 ~50 keV) ,如层析光束线的同步辐射存储环中。两种反射镜都用最新物理汽相淀积法制备,并用磁控溅射来实现X射线光学应用所需要的优良光学品质。这一淀积工艺使不同批次的镀膜稳定性良好,有利于实际反射镜在优质衬底上的最后淀积。单层镜和多层镜在它们的相关能量范围内都有很高的反射率,表面粗糙度也很低,且在整个光学波长区这些特性表现均匀。文中所叙相关研究都是借助X射线反射计量(XRR)法,透射电子显微镜(TEM)、光学轮廓仪(OP) ,以及原子力显微镜(AFM)完成的。
关键词
X射线光学
多层膜反射镜
全反射镜
X射线反射测量
磁控溅射
同步辐射
自由电子激光器
Keywords
X-ray optics
multilayer mirror
total-reflection mirror
X-ray Reflectometry(XRR)
magnetron sputtering
synchrotron radiation
free-electron lasers
分类号
O434.19 [机械工程—光学工程]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大型X射线光学仪器:单层镜和多层镜的制造与表征(英文)
Michael Strmer
Dietrich Huβler
Wolfgang Jger
Rüdiger Bormann
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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