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LPMOVPE生长GaAs∶C薄膜
1
作者
吴惠桢
J.Antoszkiewicz
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第6期412-416,共5页
本文用低压金属有机气相外延技术和四溴化碳作为掺杂源生长重掺碳GaAs∶C.由于采用了较高衬底温度,GaAs∶C的空穴迁移率比相同空穴浓度条件下,用铍、锌等常用p型掺杂原子生长的GaAs高;文中还分析了由于重掺碳引起的晶格收缩.
关键词
LPMOVPE生长
外延生长
砷化镓
碳
薄膜
下载PDF
职称材料
题名
LPMOVPE生长GaAs∶C薄膜
1
作者
吴惠桢
J.Antoszkiewicz
机构
杭州大学物理系
microelectroniccentre
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第6期412-416,共5页
基金
国家教委留学回国人员启动基金
文摘
本文用低压金属有机气相外延技术和四溴化碳作为掺杂源生长重掺碳GaAs∶C.由于采用了较高衬底温度,GaAs∶C的空穴迁移率比相同空穴浓度条件下,用铍、锌等常用p型掺杂原子生长的GaAs高;文中还分析了由于重掺碳引起的晶格收缩.
关键词
LPMOVPE生长
外延生长
砷化镓
碳
薄膜
分类号
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LPMOVPE生长GaAs∶C薄膜
吴惠桢
J.Antoszkiewicz
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
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