1
|
工作参数对平面磁控溅射系统沉积速率的影响 |
邱清泉
励庆孚
苏静静
Jiao Yu
Finley Jim
|
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2009 |
13
|
|
2
|
平面直流磁控溅射放电等离子体模拟研究进展 |
邱清泉
励庆孚
苏静静
Jiao Yu
Finely Jim
|
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
5
|
|
3
|
工作参数对平面直流磁控溅射放电特性的影响 |
邱清泉
励庆孚
苏静静
JLAO Yu
Finley Jim
|
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
|
2009 |
2
|
|