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利用金属膜的针尖诱导氧化过程和点击原子力显微镜工作模式实现纳米尺度模板复制(英文)
1
作者
王德沛
Bykov V A
+1 位作者
Lemeshko S V
Saunin S A
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期620-624,共5页
我们讨论用扫描探针显微技术研究超薄无序钛薄膜局域氧化过程 ,并利用此氧化过程实现薄膜表面纳米尺度网板修饰。实验说明针尖诱导氧化过程可被认为是电化学阳极氧化过程。钛薄膜的电阻、环境相对湿度、施加的电压幅度和氧化持续时间对...
我们讨论用扫描探针显微技术研究超薄无序钛薄膜局域氧化过程 ,并利用此氧化过程实现薄膜表面纳米尺度网板修饰。实验说明针尖诱导氧化过程可被认为是电化学阳极氧化过程。钛薄膜的电阻、环境相对湿度、施加的电压幅度和氧化持续时间对纳米修饰的速度和分辨率都有影响。使用专门设计的软件 。
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关键词
纳米修饰
针尖诱导
氧化反应
网板修饰
钛薄膜
原子力显微镜
钠米尺度
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职称材料
题名
利用金属膜的针尖诱导氧化过程和点击原子力显微镜工作模式实现纳米尺度模板复制(英文)
1
作者
王德沛
Bykov V A
Lemeshko S V
Saunin S A
机构
东方科泰科技发展有限公司
state research institute of physical problems
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期620-624,共5页
文摘
我们讨论用扫描探针显微技术研究超薄无序钛薄膜局域氧化过程 ,并利用此氧化过程实现薄膜表面纳米尺度网板修饰。实验说明针尖诱导氧化过程可被认为是电化学阳极氧化过程。钛薄膜的电阻、环境相对湿度、施加的电压幅度和氧化持续时间对纳米修饰的速度和分辨率都有影响。使用专门设计的软件 。
关键词
纳米修饰
针尖诱导
氧化反应
网板修饰
钛薄膜
原子力显微镜
钠米尺度
Keywords
nanolithography
tip induced oxidation
raster lithography
titanium film
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
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出处
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1
利用金属膜的针尖诱导氧化过程和点击原子力显微镜工作模式实现纳米尺度模板复制(英文)
王德沛
Bykov V A
Lemeshko S V
Saunin S A
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
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职称材料
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