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题名PECVD-MgO超导缓冲层的制备及其性质
被引量:1
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作者
赵玉文
Harald Suhr
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机构
北京市太阳能研究所
tubingen大学有机化学研究所
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出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第3期233-238,共6页
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文摘
超导技术是开发新能源的重要技术之一。超导缓冲层是超导薄膜的重要组成部分。以有机镁[Mg(thd)_2]为起始物,采用等离子强化化学气相沉积(PECVD)工艺,在玻璃、石英、不锈钢和镍衬底上制备了超导缓冲层MgO薄膜,当衬底温度≥400℃时,MgO薄膜为单一(100)晶向,具有理想的表面织构。研究了实验参数,包括射频功率和自偏压对沉积速率和薄膜性能的影响。
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关键词
等离子强化化学气相沉积
超导缓冲层
氧化镁薄膜
超导技术
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Keywords
plasma enhanced chemical vapor depositition (PECVD), superconductor buffer layer, MgO thin films
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分类号
TM262
[一般工业技术—材料科学与工程]
O484.1
[理学—固体物理]
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题名藻酸钆的合成
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作者
唐立功
陈子涛
仲军实
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机构
德国tubingen大学有机化学研究所
南京大学化学系
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出处
《化学世界》
CAS
CSCD
1991年第11期491-493,共3页
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文摘
钆的配合物在微电子、彩色显示等领域具有重要应用。本文合成了一组钆的藻酸配合物,并运用红外光谱和差热分析研究了这些配合物的配位特性。试验向医疗界推荐一种新的核磁共振成象反差剂。
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关键词
藻酸钆
藻酸
钆
配合物
合成
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分类号
O627.3
[理学—有机化学]
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