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《薄膜科学与技术》

作品数327被引量206H指数6
  • 主办单位南京电子器件研究所
  • 出版周期双月刊
共找到327篇文章
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薄膜应力分析中的应力梯度的影响 被引量:1
1
作者 于利根 白辰东 《薄膜科学与技术》 1993年第3期173-178,共6页
关键词 薄膜 应力分析 应力梯度
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真空蒸发制备Al2O3薄膜感湿材料 被引量:1
2
作者 陈志 金懋昌 《薄膜科学与技术》 1990年第1期52-55,共4页
关键词 真空蒸发 AL2O3 薄膜 感湿材料
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多层膜层间界面形貌的分形维数表征
3
作者 黄荣芳 洪瑞江 《薄膜科学与技术》 1992年第1期36-45,共10页
关键词 分形维数 界面形貌 薄膜 多层膜
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在(100)BaF2衬底上的YBa2Cu3O7—x外延超导薄膜
4
作者 王守证 何玉明 《薄膜科学与技术》 1992年第1期21-28,共8页
关键词 超导 氧化物 薄膜 外延生长 YBACUO
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薄膜应力的测量 被引量:5
5
作者 范玉殿 周志峰 《薄膜科学与技术》 1992年第3期1-9,共9页
关键词 薄膜 应力 测量
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在真空蒸发淀积a—Si及其化合物薄膜中离子轰击的作用
6
作者 张仕国 Brod.,DE 《薄膜科学与技术》 1995年第2期97-103,共7页
关键词 真空蒸发 离子轰击 硅薄膜 化合物薄膜 薄膜
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微电子机械系统(MEMS)研究现状与展望 被引量:1
7
作者 张寿柏 蔡炳初 《薄膜科学与技术》 1995年第3期250-259,共10页
关键词 微电子机械系统 机械系统 微电子技术
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低温溅射沉积TiN薄膜的实验研究 被引量:1
8
作者 赵嘉学 唐素筠 《薄膜科学与技术》 1993年第2期151-155,共5页
关键词 溅射 沉积 TIN薄膜
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CH4/Ar射频等离子体气相沉积碳—金刚石薄膜的结构分析
9
作者 张贵锋 韩栋 《薄膜科学与技术》 1993年第2期140-145,共6页
关键词 等离子体 金刚石 薄膜 结构
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双层结构的碲镉汞表面钝化薄膜的研制
10
作者 黄河 《薄膜科学与技术》 1993年第1期8-13,共6页
关键词 碲镉汞 钝化 化合物半导体 薄膜
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Ge—Au系Ge—Ag系双层膜退火缩聚的分形特性 被引量:1
11
作者 张人佶 李莉 《薄膜科学与技术》 1991年第2期47-56,共10页
关键词 Ge-Au系 Ge-Ag系 双层膜 退火缩聚
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超高密度信息存储薄膜的研究
12
作者 薜增泉 《薄膜科学与技术》 1994年第3期223-233,共11页
关键词 信息存储 原子操纵 原子识别 薄膜
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夹心式a—Si:H光阴极
13
作者 陈元星 海宇涵 《薄膜科学与技术》 1991年第4期59-62,共4页
为了提高a-Si:H光电发射的量子效率,设计了夹心式场增强结构。此结构是SnO2-n-pa-Si:H-AI:Cs:O,并在光阴极动态试验系统上进行了初步实验研究,它的光谱响应复盖整个可见光区,长玻限在0.82um,知值波长0.56um。光电发射灵敏度与所加... 为了提高a-Si:H光电发射的量子效率,设计了夹心式场增强结构。此结构是SnO2-n-pa-Si:H-AI:Cs:O,并在光阴极动态试验系统上进行了初步实验研究,它的光谱响应复盖整个可见光区,长玻限在0.82um,知值波长0.56um。光电发射灵敏度与所加偏压有关,在15V偏压下,积分灵敏度为30um/Lm,峰值量子效率为2.1%。 展开更多
关键词 非晶硅 薄膜 光阴极 夹心式aSi:H 量子效率
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超硬膜镀前清洗工艺
14
作者 金纯洁 《薄膜科学与技术》 1991年第2期86-88,共3页
关键词 超硬膜 清洗工艺 离子镀 薄膜
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四—4—(2,4—二特戊基苯氧基)酞菁铜L—B薄膜的成膜质量及表面形貌
15
作者 吕安德 庞小敏 《薄膜科学与技术》 1991年第1期44-51,共8页
关键词 酞菁铜 成膜质量 表面开貌 LB-薄膜
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薄膜横截面TEM样品的制备技术及显微结构观察 被引量:2
16
作者 何向军 陶琨 《薄膜科学与技术》 1994年第4期352-355,共4页
关键词 横截面 薄膜 显微结构 TEM样品
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化学气相淀积中热和物质输运问题及数值方法
17
作者 金希卓 刘明登 《薄膜科学与技术》 1994年第2期103-108,共6页
关键词 化学气相淀积 热和积质输运 薄膜生长
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一种新型电荷转移复合物导电LB膜的研究
18
作者 肖玉方 姚钟麒 《薄膜科学与技术》 1993年第4期336-341,共6页
关键词 电荷转移 复合物 LB膜 导电性
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Y(DPM)3,Ba(DPM)2和Cu(DPM)2的红外光谱及其热稳定性... 被引量:1
19
作者 袁志好 高建峰 《薄膜科学与技术》 1992年第1期46-53,共8页
关键词 螯合物 超导 薄膜 热稳定
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脉冲激光镀膜和激光厚子层外延—蓬勃发展的镀膜新技术 被引量:2
20
作者 王守证 《薄膜科学与技术》 1994年第1期52-59,共8页
关键词 激光镀膜 半导体薄膜 镀膜
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