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《四川真空》

作品数395被引量34H指数3
  • 主办单位四川省真空学会;国投南光有限公司
  • 出版周期半年刊
共找到395篇文章
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HL—2A真空室预装抽气、检漏试验
1
作者 曹曾 徐云仙 《四川真空》 2001年第2期28-35,共8页
HL-2A真空室预装抽气系统由4套前级汇总式分子泵三级抽气机组组成,包括4套3500LS^-1分子泵、2套600LS^-1罗茨增压泵和2套70LS^-1机械泵,对环有效抽速为6.4m^3s^-1(H2)。用氦质谱检漏仪、四极场质谱计与氦质谱检漏仪相结合的方法(即... HL-2A真空室预装抽气系统由4套前级汇总式分子泵三级抽气机组组成,包括4套3500LS^-1分子泵、2套600LS^-1罗茨增压泵和2套70LS^-1机械泵,对环有效抽速为6.4m^3s^-1(H2)。用氦质谱检漏仪、四极场质谱计与氦质谱检漏仪相结合的方法(即双质谱法)分别进行零部件和真空室总体检漏,真空室总漏气率≤1.2×10^-5Pam^3s^-1。采用有效除气措施后,HL-2A真空室预装本底压强为1.1×10^-4Pa。 展开更多
关键词 抽气系统 检漏 漏气率 真空室 HL-2A装置 托卡马克装置
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大功率AlGaAs—GaAs激光器干涉镜和减反射膜的制备
2
作者 罗江财 王静波 《四川真空》 1999年第1期34-37,共4页
分别用磁控溅射和电子束蒸发技术,在大功率AlGaA3-GaA3激光器条端面上,制作了SiO2/Si干涉镜和Al2O3减反射膜。讨论了Si靶反应磁控溅射下,氧化硅层的沉积速率和影响镀层质量的因素。
关键词 大功率 激光器 干涉镜 减反射镜膜 铝镓砷
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一种新型无油涡轮真空泵的发展
3
作者 Mase,M 陈文浩 《四川真空》 1991年第1期18-23,共6页
关键词 涡轮真空泵 无油 半导体 真空抽气
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大型激光室检漏技术 被引量:5
4
作者 严东海 陈和祥 《四川真空》 1994年第3期25-30,共6页
关键词 检漏 质谱 漏放率 真空检漏
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一种新型高精度400周正弦波电源
5
作者 刘旭清 何毅 《四川真空》 1994年第1期30-33,共4页
关键词 电源 正弦波 400周 电路设计
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双束合成低能离子束外延设备的研制
6
作者 张祥生 《四川真空》 1990年第3期7-11,共5页
关键词 离子束 外延设备 合成 半导体 薄膜
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21世纪:纳米技术崭露应用曙光
7
作者 程天富 《四川真空》 2002年第2期48-53,共6页
纳米科学技术可能引发一场新的工业革命,这是值得关注的问题,纳米材料具有独特的性质,因此可能存在奇妙的应用前景,科学家和工程技术人员提出了“异想天开”的可能应用。
关键词 纳米技术 纳米材料 纳米科学技术 应用前景 工业革命 科学家 性质 引发 工程技术人员
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红外焦平面阵列用信号处理电路技术探讨
8
作者 程开富 《四川真空》 1998年第2期28-40,共13页
简要介绍了红外焦平面阵列的信号处理电路的发展概况,重点描述CCD多路传输器(CCD-MUX)时间延迟积分CCD(TDI-CCD),MOSFET,CMOS等路传输器(CMOS-MUX)等的基本结构,工作方式及应用领域。
关键词 红外探测器 红外焦平面阵列 信号处理电路
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金刚石型薄膜的研究进展(综述)
9
作者 陈长川 《四川真空》 1990年第1期34-35,共2页
关键词 金刚石型 薄膜
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真空漏率校准装置的研制
10
作者 吴根发 梁智岷 宋红 《四川真空》 2002年第2期16-21,共6页
本文简述了真空漏率校准装置的设计思路、原理、框图及主要技术指标等,并对本装置的不确定度进行了描述。
关键词 真空漏率 标准漏孔 质谱计 校准 校准装置
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氦,氢直流辉光清洗对杂质的清除实验
11
作者 崔成和 严东海 《四川真空》 2000年第1期17-22,共6页
关键词 杂质 器壁处理 HL-1M装置 真空室 直流辉光清洗
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1.06μm激光消偏振分光膜的研制
12
作者 王金叶 刘琼 《四川真空》 1994年第1期9-12,共4页
关键词 光学薄膜 消偏振分光膜 激光器
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等离子体化学在薄膜和表面工艺中的应用
13
作者 周坤舜 《四川真空》 1990年第1期1-7,共7页
关键词 等离子体化学 薄膜材料 表面改性
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52系列涂布机的研制
14
作者 吴仲明 《四川真空》 2000年第1期53-54,共2页
关键词 H52型 涂布机 技术指标 烫印材料 镀铝膜
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乐泰厌氧密封胶在真空系统密封中的应用
15
作者 骆世凯 《四川真空》 2000年第1期42-43,共2页
关键词 真空系统 密封 乐泰厌氧密封胶 真空漏率
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抽速可达40米^3/秒的高能力涡轮分子泵系列
16
作者 Saks.,GL 王丽 《四川真空》 1996年第3期32-36,共5页
本文记述了抽速为5-20米^3/秒(对He)的高可靠性涡轮分子泵及其参数,经系列泵根据双流层原理制成,其极限压强大的约为5×10^-8Pa;压缩比为(0.6-2.1)×10^4(对H2)和(0.9~3.2)... 本文记述了抽速为5-20米^3/秒(对He)的高可靠性涡轮分子泵及其参数,经系列泵根据双流层原理制成,其极限压强大的约为5×10^-8Pa;压缩比为(0.6-2.1)×10^4(对H2)和(0.9~3.2)×10^5(对He)溅余气体的主要成分是氢气,同时,此原采用了动密封以防来自轴承装置的油渗入被抽空腔内。油通过轴承被排出。 展开更多
关键词 真空泵 涡轮分子泵 抽速 参数
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涡轮型高真空泵的结构和性能
17
作者 Habl.,MH 陈文浩 《四川真空》 1995年第4期1-9,共9页
涡轮分子泵实质上是为抽稀萍气体而设计的轴流压缩机。最早的开拓者或多或少继承了轴流压缩机的传统分级排列,当时,对交替排列的动,定叶列间的分子轨迹曾用模拟数学计算法予以确证。现代开展的泵大都为组合排列与混合排列结构,它们... 涡轮分子泵实质上是为抽稀萍气体而设计的轴流压缩机。最早的开拓者或多或少继承了轴流压缩机的传统分级排列,当时,对交替排列的动,定叶列间的分子轨迹曾用模拟数学计算法予以确证。现代开展的泵大都为组合排列与混合排列结构,它们由涡轮分子组和涡轮牵引级组成,而且装在一个泵壳内的同一轴上。 展开更多
关键词 真空泵 涡轮型 高真空泵
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同轴磁控溅射镀膜机的改装技术
18
作者 王文如 肖韵雪 《四川真空》 1992年第1期153-156,共4页
关键词 磁控溅射 薄膜 同轴磁控 镀膜机
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CMOS图像传感器技术进展及市场分析与预测 被引量:1
19
作者 程开富 《四川真空》 1999年第2期6-12,共7页
随着亚微米微电子技术的进步,CMOS图像传感器的产量不断增加,应用领域不断扩展。;21世纪将是CMOS图像传感器在电子摄像领域演主角的世纪。本文对CMOS图像传感器的性能与市场前景,国内开发现状,应用及其全球市场进行... 随着亚微米微电子技术的进步,CMOS图像传感器的产量不断增加,应用领域不断扩展。;21世纪将是CMOS图像传感器在电子摄像领域演主角的世纪。本文对CMOS图像传感器的性能与市场前景,国内开发现状,应用及其全球市场进行了分析与预测。 展开更多
关键词 CMOS图像传感器 传感器 技术进展 市场分析
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ZZ600—1/Z型十工位PAR灯全自动蒸铝机制的研制
20
作者 贺永云 《四川真空》 1999年第2期22-23,共2页
本文通过ZZ600-1/Z型十工位PAR灯全自动蒸铝机的研制介绍,主要叙述该机的结构特点,主要技术指标。说明该设备是目前世界上先进的用于PAR灯生产上的蒸铝设备。
关键词 PAR灯 电光源技术 蒸铝机 蒸镀
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